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來(lái)源:Laser Quantum
發(fā)布時(shí)間:2023-03-16
白皮書簡(jiǎn)介
由于檢測(cè)效率低下,半導(dǎo)體晶圓制造工藝經(jīng)常產(chǎn)生不必要的材料和時(shí)間浪費(fèi)。
當(dāng)激光噪聲用作晶圓檢測(cè)的測(cè)量方法時(shí),在這種環(huán)境下可能實(shí)現(xiàn)非常精確的計(jì)量工藝。但是,某些激光特性的變化可能會(huì)錯(cuò)誤地標(biāo)識(shí)晶圓上的錯(cuò)誤,從而導(dǎo)致誤報(bào)的產(chǎn)生,因此,會(huì)導(dǎo)致可避免的廢品率增加,最終浪費(fèi)材料和處理時(shí)間。
通過(guò)利用具有長(zhǎng)期功率穩(wěn)定性的超低噪聲激光器,可以在很大程度上消除這一問(wèn)題,該激光器專為此類要求苛刻的 24/7 檢測(cè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。下載白皮書了解更多
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